產(chǎn)品介紹
日立全新一代高分辨鎢燈絲掃描電鏡SU3800采用全新的HexBias偏壓技術(shù)，使其低電壓性能大大提升，同時(shí)升級(jí)的高靈敏度背散射探測(cè)器和可變壓力探測(cè)器使得SU3800的觀察能力進(jìn)一步提升。SU3800還增加了IFT燈絲監(jiān)控技術(shù)、全新的光鏡導(dǎo)航、集成的能譜以及報(bào)告導(dǎo)出等功能，使其操作也變得更為簡(jiǎn)單。
產(chǎn)品特性：
HexBias偏壓鎢燈絲電子槍
優(yōu)異的高、低電壓性能
高靈敏度五分割背散射電子探測(cè)器
可變壓力二次電子探測(cè)器（高、低真空可用）
全新的操作界面和光鏡導(dǎo)航功能
全自動(dòng)燈絲設(shè)定和合軸
報(bào)告導(dǎo)出和圖片處理
可集成的EDS
簡(jiǎn)單方便的維護(hù)（燈絲更換視頻）
技術(shù)參數(shù)：
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電子槍 |
預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
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加速電壓 |
0.3kV – 30kV |
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分辨率 |
3.0nm@30kV (SE) |
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15.0nm@1kV (SE) |
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4.0nm@30kV (BSE, LV) |
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放大倍率 |
5x – 300,000x（底片倍率） |
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7x – 800,000x（顯示器倍率） |
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探測(cè)器 |
二次電子探測(cè)器，高靈敏度無(wú)分割背散射電子探測(cè)器 |
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可變壓力探測(cè)器UVD 2.0* |
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低真空可變壓力范圍 |
6 – 650Pa |
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樣品臺(tái)（三軸馬達(dá)） |
X: 0 - 100 mm |
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Y: 0 – 40 mm |
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Z: 5 – 65 mm |
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R: 0 – 360° |
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T: -20° - +90° |
產(chǎn)品應(yīng)用：
材料科學(xué)
生命醫(yī)學(xué)
食品衛(wèi)生
半導(dǎo)體電子元器件
汽車制造
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