拋光技術性及拋光液

　　一、拋光技術性

　　最開始的半導體材料襯底（襯底片）拋光延用機械設備拋光、比如氧化鎂、氧化鋯陶瓷拋光等，可是獲得的芯片表面損害是以及比較嚴重的。直至六十年代末，一種新的拋光技術性——有機化學機械設備拋光技術性（CMPChemicalMechanicalPolishing）替代了舊的方式。CMP技術性綜合性了有機化學和機械設備拋光的優(yōu)點：

　　單純性的有機化學拋光，拋光速度較快，表面光滑度高，損害低，完美性好，但表面平面度和平面度差，拋光后表面一致性差；

　　單純性的機械設備拋光表面一致性好，表面平面度高，但表面光滑度差，損害層深。

　　有機化學機械設備拋光能夠得到比較極致的表面，又可以獲得較高的拋光速度，獲得的平面度比別的方式高2個量級，是現階段可以完成全局性平面化的唯一合理方式。根據機械加工制造基本原理、半導體器件水利學、物力資源有機化學多組分反映多相催化基礎理論、表面水利學、半導體材料有機化學基礎知識等，對硅單晶片有機化學機械設備拋光（CMP）原理、動力學模型操縱全過程和影響因素科學研究標出，有機化學機械設備拋光是一個繁雜的多組分反映，它存有著2個動力學模型全過程：

　?。?）拋光最先使吸咐在拋光布上的拋光液中的還原劑、金屬催化劑等與襯底片表面的硅原子在表面開展氧化還原反應的動力學模型全過程。它是化學變化的行為主體。

　　（2）拋光表面生成物擺脫硅單晶表面，即解析全過程使未反映的硅單晶再次外露出去的動力學模型全過程。它是操縱拋光速度的另一個關鍵全過程。單晶硅片的有機化學機械設備拋光全過程是以化學變化為主導的機械設備拋光全過程，要得到性價比高的拋光片，務必使拋光全過程中的化學腐蝕功效與機械設備切削功效做到一種均衡。假如化學腐蝕功效超過機械設備拋光功效，則拋光片表面造成浸蝕坑、橘皮狀波浪紋。假如機械設備切削功效超過化學腐蝕功效，則表面造成高損害層。

　　二、藍寶石研磨液

　　藍寶石研磨液（又稱之為藍寶石拋光液）是用以在藍寶石襯底的碾磨和減薄的研磨液。

　　藍寶石研磨液由高品質聚晶金剛石微粉、復合型增稠劑和助懸劑構成。

　　藍寶石研磨液運用聚晶金鋼石的特點，在碾磨拋光全過程中維持高鉆削高效率的另外不容易對產品工件造成刮傷。能夠運用在藍寶石襯底的碾磨和減薄、電子光學結晶、硬質的夾層玻璃和結晶、超硬瓷器和鋁合金、磁帶機、電腦硬盤、集成ic等行業(yè)的碾磨和拋光。

　　藍寶石研磨液在藍寶石襯底層面的運用：

　　1.外延片生產制造前襯底的雙面研磨：要用藍寶石研磨液碾磨一道或多道，依據最后藍寶石襯底碾磨規(guī)定用6um、3um、1um不一。

　　2.LED芯片反面減薄

　　為處理藍寶石的排熱難題，必須將藍寶石襯底的薄厚減薄，從450nm上下減為100nm上下。關鍵有二步：先在橫著減薄機里，用50-70um的沙輪片碾磨磨掉300um上下的薄厚；再用拋光機（秀和、NTS、WEC等）對于不一樣的碾磨盤（錫/銅盤），選用適合的藍寶石研磨液（水/油溶性）對集成ic反面拋光，從150nm減為100nm[1]上下。

　　三、藍寶石拋光液

　　藍寶石拋光液是以高純硅粉為原材料，經獨特加工工藝生產制造的一種高純低金屬材料無機化合物拋光商品。

　　藍寶石拋光液關鍵用以藍寶石襯底的拋光。還可普遍用以多種多樣原材料納米的高平整化拋光，如：單晶硅片、化學物質結晶、高精密電子光學元器件、晶石等的拋光生產加工。

　　藍寶石拋光液的特性：

　　1.高拋光速度，運用大粒度的膠體溶液二氧化硅顆粒做到髙速拋光的目地。

　　2.高純（Cu成分低于50ppb），合理減少對電子器件產品的臟污。

　　3.高平整度生產加工，藍寶石拋光液是運用SiO2的膠體溶液顆粒開展拋光，不容易對零件加工導致物理學損害，做到高平整化生產加工。

　　藍寶石拋光液依據pH值的不一樣可分成酸堿性拋光液和偏堿拋光液。

　　藍寶石拋光液的型號規(guī)格：

　　偏堿型號規(guī)格（pH:9.8±0.5）：SOQ-2A、SOQ-4a、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D

　　酸堿性型號規(guī)格（pH:2.8±0.5）：ASOQ-2A、ASOQ-4a、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D

　　粒度(nm)：10~3030~5050~7070~9090~110110~130

　　外型：奶白色或透明色液態(tài)

　　比例1.15±0.05

　　構成SiO2：15~30%

　　Na2O：≤0.3%

　　重金屬超標殘渣：≤50ppb