1、掃描電鏡的相對(duì)極限適用表征形貌標(biāo)準(zhǔn)--結(jié)構(gòu)特征放大到3-6mm，能看出基本外形和結(jié)構(gòu)特征。儀器觀測(cè)條件需要發(fā)揮到相對(duì)極限。操縱難度高，需要極大耐心豐富的操縱經(jīng)驗(yàn)。

    場(chǎng)發(fā)射大型掃描電鏡有效表征：20nm-40nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)15萬-30萬倍對(duì)應(yīng)觀察視野寬度800nm--400nm

    六硼化鑭大型掃描電鏡有效表征：40nm-80nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)7.5萬-15萬倍對(duì)應(yīng)觀察視野寬度1.6μm--800nm

    鎢燈絲大型掃描電鏡有效表征：60nm-120nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)5萬-10萬倍對(duì)應(yīng)觀察視野寬度2.4μm--1.2μm

    小型桌面臺(tái)式掃描電鏡有效表征：400nm-800nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)7500x-15000x對(duì)應(yīng)觀察視野寬度16μm--8μm

    2、掃描電鏡中等潛能適用表征形貌標(biāo)準(zhǔn)--結(jié)構(gòu)特征放大到3-6mm，能看出基本外形和結(jié)構(gòu)特征。儀器觀測(cè)條件設(shè)置在中等水平，操縱難度適中，一般經(jīng)過系統(tǒng)培訓(xùn)可以實(shí)現(xiàn)。

    場(chǎng)發(fā)射大型掃描電鏡40nm-80nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)75000x-150000x對(duì)應(yīng)觀察視野寬度1.6μm--800nm

    六硼化鑭大型掃描電鏡80nm-170nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)35000X-75000X對(duì)應(yīng)觀察視野寬度3.5μm--1.6μm

    鎢燈絲大型掃描電鏡120nm-600nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)25000x-50000x對(duì)應(yīng)觀察視野寬度4.8μm--2.4μm

    小型桌面臺(tái)式掃描電鏡800nm-1600nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)3750x-7500x對(duì)應(yīng)觀察視野寬度32μm--16μm

    3、掃描電鏡一般使用對(duì)應(yīng)的形貌特征標(biāo)準(zhǔn)-結(jié)構(gòu)特征放大到3mm以上。儀器觀測(cè)條件設(shè)置在中等水平以下，操縱簡(jiǎn)單，一般簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可上機(jī)操縱。

    場(chǎng)發(fā)射大型掃描電鏡大于80nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于75000x對(duì)應(yīng)觀察視野寬度大于1.6μm

    六硼化鑭大型掃描電鏡大于170nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于35000X對(duì)應(yīng)觀察視野寬度大于3.5μm

    鎢燈絲大型掃描電鏡大于240nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于25000x對(duì)應(yīng)觀察視野寬度大于4.8μm

    小型桌面臺(tái)式掃描電鏡大于1600nm對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于3750x對(duì)應(yīng)觀察視野寬度大于32μm

    光學(xué)顯微鏡的有效放大倍數(shù)1000倍：對(duì)應(yīng)的觀察視野寬度大于120μm

    就像汽車的經(jīng)濟(jì)速度，我們選擇掃描電鏡也一樣，能夠經(jīng)常使用在其分辨任性能的一半或者zui高有效放大倍數(shù)的一半左右，是zui經(jīng)濟(jì)的。針對(duì)大型鎢燈絲掃描電鏡，掃描電鏡應(yīng)該長(zhǎng)期的保持在4.8μm--2.4μm視野范圍內(nèi)有效觀察。

    掃描電鏡往往有維護(hù)周期，在維護(hù)周期內(nèi)，隨使用時(shí)間推移，掃描電鏡的性能會(huì)不斷下降。假如考慮掃描電鏡干擾因素，性能不斷下降因素，獲得均勻性能的發(fā)揮，以上數(shù)據(jù)須打折扣。掃描電鏡的使用方法和維護(hù)很重要''如不能正確使用和維護(hù)''發(fā)揮出中等能力也很困難，只能是低水平應(yīng)用。

    掃描電鏡應(yīng)用是科學(xué)也是藝術(shù)，經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)職員能夠發(fā)揮其zui大潛能，而大多使用者令其在中間能力發(fā)揮作用，在中等條件下，獲得良好好的圖像質(zhì)量。假如希望看圖像質(zhì)量更好，甚至達(dá)到藝術(shù)級(jí)別，那么需要相應(yīng)的進(jìn)步儀器檔次，或者降低儀器使用表征標(biāo)準(zhǔn)范疇。

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